发明名称 |
IN-LINE DETECTOR SYSTEM FOR REAL-TIME DETERMINATION OF IMPURITY CONCENTRATION IN A FLOWING GAS STREAM |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0565610(B1) |
申请公布日期 |
1999.11.03 |
申请号 |
EP19920903528 |
申请日期 |
1991.12.13 |
申请人 |
MILLIPORE INVESTMENT HOLDINGS LIMITED |
发明人 |
TOM, GLENN, M. |
分类号 |
G01N9/00;G01N29/02;G01N33/00;(IPC1-7):G01N31/00 |
主分类号 |
G01N9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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