发明名称 IN-LINE DETECTOR SYSTEM FOR REAL-TIME DETERMINATION OF IMPURITY CONCENTRATION IN A FLOWING GAS STREAM
摘要
申请公布号 EP0565610(B1) 申请公布日期 1999.11.03
申请号 EP19920903528 申请日期 1991.12.13
申请人 MILLIPORE INVESTMENT HOLDINGS LIMITED 发明人 TOM, GLENN, M.
分类号 G01N9/00;G01N29/02;G01N33/00;(IPC1-7):G01N31/00 主分类号 G01N9/00
代理机构 代理人
主权项
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