发明名称 METALIZING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 forming an aluminum layer; and continuously forming a predetermined thickness of a barrier layer on the front surface of a resulting material without a vacuum brake.
申请公布号 KR950011553(B1) 申请公布日期 1995.10.06
申请号 KR19920010424 申请日期 1992.06.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, DU - HWAN;KIM, BYONG - JUN;YUN, IN - HWAN;HONG, JONG - IN
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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