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发明名称 APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE
摘要
申请公布号 JPS6318208(A) 申请公布日期 1988.01.26
申请号 JP19860163067 申请日期 1986.07.11
申请人 CANON INC 发明人 YOSHII MINORU;NIWA YUKICHI;NOSE TETSUSHI;MATSUGI MASAKAZU;OKADA YOSHIMICHI
分类号 G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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