Verfahren zur Herstellung eines reflexionsmindernden Schichtsystems und reflexionsminderndes Schichtsystem

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines reflexionsmindernden Schichtsystems auf einem Substrat (10) angegeben, umfassend die Schritte: – Abscheidung einer Brechzahlgradientenschicht (1) auf das Substrat (10) durch Ko-Verdampfung eines anorganischen Materials und eines organischen Materials, wobei die Brechzahlgradientenschicht (1) eine in Wachstumsrichtung abnehmende Brechzahl aufweist, – Abscheidung einer organischen Schicht (2) über der Brechzahlgradientenschicht (1), und – Erzeugung einer Nanostruktur (12) in der organischen Schicht (2) durch einen Plasmaätzprozess. Weiterhin wird ein auf diese Weise herstellbares reflexionsminderndes Schichtsystem beschrieben.