| 发明名称 |
Verfahren zum Anbringen einer Siliziumnitridschicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH519589(A) |
申请公布日期 |
1972.02.29 |
| 申请号 |
CH19680007940 |
申请日期 |
1968.05.28 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
GUILLAUME COLLET,MARNIX |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/48;(IPC1-7):C23C11/08;H01L7/32 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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