发明名称 Adjusting device for the planarization of probe sets of a probe card
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Nadelkarten-Justageeinrichtung zur Planarisierung von Nadelsätzen einer Nadelkarte (1), bei der die Nadelkarte (1) über eine gesonderte, dynamisch arbeitende Justageeinheit (4, 11) mit einer als Schnittstelle zu einem Testkopf (5) dienenden Platine (3) verbunden ist. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP1098200(A2) 申请公布日期 2001.05.09
申请号 EP20000123270 申请日期 2000.10.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KUND, MICHAEL
分类号 G01R3/00;G01R1/06;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;H01L41/09;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R3/00
代理机构 代理人
主权项
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