| 发明名称 |
PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01246199(A) |
申请公布日期 |
1989.10.02 |
| 申请号 |
JP19880072519 |
申请日期 |
1988.03.25 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SAITO TETSUO;ITO MICHIHARU;TAKIGAWA HIROSHI;YOSHIKAWA MITSUO |
| 分类号 |
H01L21/368;C30B11/04;C30B29/48 |
主分类号 |
H01L21/368 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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