| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE, ITS PRODUCTION, ELECTRONIC CIRCUIT AND POLYIMIDE RESIN CONTAINING SILOXANE SKELETON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03168214(A) |
申请公布日期 |
1991.07.22 |
| 申请号 |
JP19890308729 |
申请日期 |
1989.11.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TANAKA JUN;KATAOKA FUMIO;SHOJI FUSAJI |
| 分类号 |
G02F1/1337;C08G73/10;C08K5/28;C08L79/04;C08L79/08;G03F7/027;H01L21/312 |
主分类号 |
G02F1/1337 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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