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经营范围
发明名称
OXIDIZING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH10163186(A)
申请公布日期
1998.06.19
申请号
JP19960317736
申请日期
1996.11.28
申请人
SONY CORP
发明人
KIMURA HIDEKI
分类号
H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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