发明名称 CHEMICAL SUPPLYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06342751(A) 申请公布日期 1994.12.13
申请号 JP19920155487 申请日期 1992.06.16
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIMURA TAKEYOSHI
分类号 B05C5/00;B05C11/10;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
主权项
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