| 发明名称 |
Method and machine for replicating holographic gratings on a substrate |
| 摘要 |
A machine and process for a pattern, such as a submicron grating pattern onto a substrate.
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| 申请公布号 |
US7306827(B2) |
申请公布日期 |
2007.12.11 |
| 申请号 |
US20020201818 |
申请日期 |
2002.07.23 |
| 申请人 |
SRU BIOSYSTEMS, INC. |
发明人 |
LI PETER Y.;QIU JEAN;BORSODY ALEX |
| 分类号 |
B05D3/06;B01L3/00;B05D3/12;G01N21/25;G01N21/47;G01N33/543;G02B5/18 |
主分类号 |
B05D3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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