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发明名称
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申请公布号 JPH0610966(B2) 申请公布日期 1994.02.09
申请号 JP19860049723 申请日期 1986.03.06
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA TSUYOSHI;KAWASE YUTAKA;KOBAYASHI HIDEKI;SAITO SHUICHI
分类号 H01L21/20;H01J37/06;H01J37/067;H01J37/30;H01L21/263;(IPC1-7):H01J37/067 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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