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发明名称 PRODUCTION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS51123564(A) 申请公布日期 1976.10.28
申请号 JP19750048819 申请日期 1975.04.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TOSA MASATSUNE;IZUMI SEISHI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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