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发明名称 Magnetically enhanced plasma chamber with non-uniform magnetic field
摘要
申请公布号 EP0852389(A3) 申请公布日期 2002.01.02
申请号 EP19970310688 申请日期 1997.12.31
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SHAN, HONGCHING;LINDLEY, ROGER;BJORKMAN, CLAES;QIAN, XUE YU;PLAVIDAL, RICHARD;PU, BRYAN;DING, JI;LI, ZONGYU;KE, KUANG-HAN;WELCH, MICHAEL
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/687;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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