| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11251289(A) |
申请公布日期 |
1999.09.17 |
| 申请号 |
JP19980047413 |
申请日期 |
1998.02.27 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MURAOKA YUSUKE;TAMADA ATSUSHI |
| 分类号 |
C23F1/08;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
