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发明名称 LOW CURRENT MEASURING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10339743(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19980147542 申请日期 1998.05.28
申请人 CASCADE MICROTECH INC 发明人 RANDY SCHWINDT
分类号 G01R1/073;G01R1/067;G01R19/00;G01R31/28;G01R35/00;H01L21/66;H01R11/18;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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