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发明名称 INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 EP0983483(A1) 申请公布日期 2000.03.08
申请号 EP19980934796 申请日期 1998.05.26
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 DRABAREK, PAWEL
分类号 G01B9/02;G01B11/30;G01J9/02;(IPC1-7):G01B11/30;G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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