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发明名称
摘要
申请公布号 JP3161527(B2) 申请公布日期 2001.04.25
申请号 JP19980182653 申请日期 1998.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L27/092;H01L21/8238;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/861;H01L21/823 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
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