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发明名称
摘要
申请公布号 JP3336416(B2) 申请公布日期 2002.10.21
申请号 JP19930120529 申请日期 1993.04.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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