发明名称 System and method for moving an object employing piezo actuators
摘要
申请公布号 EP1548855(A3) 申请公布日期 2005.07.06
申请号 EP20040078341 申请日期 2004.12.09
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 HENDRIKS, STEFAN, G.M.;LEENHEERS, GERARDUS, J., C.,C., M.;MATTAAR, THOMAS, A.
分类号 B81B3/00;B81B7/02;G03F7/20;H01L21/027;H01L41/09;H02N2/00;(IPC1-7):H01L41/08 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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