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经营范围
发明名称
System and method for moving an object employing piezo actuators
摘要
申请公布号
EP1548855(A3)
申请公布日期
2005.07.06
申请号
EP20040078341
申请日期
2004.12.09
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
HENDRIKS, STEFAN, G.M.;LEENHEERS, GERARDUS, J., C.,C., M.;MATTAAR, THOMAS, A.
分类号
B81B3/00;B81B7/02;G03F7/20;H01L21/027;H01L41/09;H02N2/00;(IPC1-7):H01L41/08
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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