发明名称 IMAGE SENSOR COMPRISING REFLECTIVE GUIDE LAYER AND METHOD OF FORMING THE SAME
摘要 이미지 센서들의 여러 가지 구조들뿐만 아니라 이미지 센서들을 형성하는 방법들이 개시된다. 실시예에 따라서, 구조물은, 포토 다이오드들을 포함하는 기판, 상기 기판 상의 산화물 층, 상기 포토 다이오드들의 어레이에 대응하는 상기 산화물 층 내의 리세스들, 상기 리세스들의 각각의 측벽 상의 반사 안내 물질, 및 상기 리세스들의 각각의 하나 내에 각각 배치된 컬러 필터들을 포함한다. 상기 산화물 층 및 상기 반사 안내 물질이 컬러 필터들 사이에 그리드를 형성하고, 적어도 상기 산화물 층의 부분 및 상기 반사 안내 물질의 부분이, 이웃하는 컬러 필터들 사이에 배치된다.
申请公布号 KR101650246(B1) 申请公布日期 2016.08.22
申请号 KR20140138312 申请日期 2014.10.14
申请人 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 发明人 우 웨이 추앙;스제 지지;왕 유젠;추 옌창;팅 쉬판;왕 칭춘
分类号 H01L27/146 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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