摘要 |
이미지 센서들의 여러 가지 구조들뿐만 아니라 이미지 센서들을 형성하는 방법들이 개시된다. 실시예에 따라서, 구조물은, 포토 다이오드들을 포함하는 기판, 상기 기판 상의 산화물 층, 상기 포토 다이오드들의 어레이에 대응하는 상기 산화물 층 내의 리세스들, 상기 리세스들의 각각의 측벽 상의 반사 안내 물질, 및 상기 리세스들의 각각의 하나 내에 각각 배치된 컬러 필터들을 포함한다. 상기 산화물 층 및 상기 반사 안내 물질이 컬러 필터들 사이에 그리드를 형성하고, 적어도 상기 산화물 층의 부분 및 상기 반사 안내 물질의 부분이, 이웃하는 컬러 필터들 사이에 배치된다. |