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发明名称
Memory Cell Manufacturing Method with a Step of Filling Space between Two Spacers and the Structure
摘要
申请公布号
KR100903460(B1)
申请公布日期
2009.06.18
申请号
KR20020087356
申请日期
2002.12.30
申请人
发明人
分类号
H01L27/115;H01L21/8247;(IPC1-7):H01L27/115
主分类号
H01L27/115
代理机构
代理人
主权项
地址
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