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经营范围
发明名称
Herstellungsverfahren für einen Feldeffekttransistor
摘要
申请公布号
DE4318688(A1)
申请公布日期
1994.02.10
申请号
DE19934318688
申请日期
1993.06.04
申请人
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
ISHIKAWA, EIICHI, ITAMI, HYOGO, JP;SAITO, TAKAYUKI, ITAMI, HYOGO, JP;WATANABE, SHINYA, ITAMI, HYOGO, JP
分类号
G03F7/09;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/336;H01L21/8242;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/308;G03F7/00
主分类号
G03F7/09
代理机构
代理人
主权项
地址
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