| 发明名称 |
Method of measuring meso-scale structures on wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6806105(B2) |
申请公布日期 |
2004.10.19 |
| 申请号 |
US20030621218 |
申请日期 |
2003.07.16 |
| 申请人 |
THERMA WAVE INC |
发明人 |
JOHNSON KENNETH C;STANKE FRED E |
| 分类号 |
G01B11/06;G01B11/30;G01N21/21;G01N21/95;H01L21/66;H01L21/67;(IPC1-7):H01L21/66;H01L23/58;G01R31/26;G01N21/00;G01J1/10 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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