发明名称 WET PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号 KR0129796(Y1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950016028U 申请日期 1995.06.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUN, PIL-KWAN;BYUN, HONG-SIK;CHAE, SEUNG-KI;MOON, SANG-YONG
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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