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经营范围
发明名称
WET PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号
KR0129796(Y1)
申请公布日期
1999.02.01
申请号
KR19950016028U
申请日期
1995.06.30
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
JUN, PIL-KWAN;BYUN, HONG-SIK;CHAE, SEUNG-KI;MOON, SANG-YONG
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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