动态薄膜厚度监控系统及方法

摘要

一种动态薄膜厚度监控系统及方法，是在基板与镀膜源之间安排一个或一个以上的遮板，一个以上的遮板以适当的方式排列，且遮板之间无缝隙；利用机械手臂来控制遮板的移动；再利用膜厚监控装置即时监控所镀薄膜的厚度；依膜厚监控装置取得的膜厚监控值逐渐移动或调整遮板，使遮板遮蔽基板上膜厚到达设计目标厚度的区域；当需要镀膜的基板部分全被遮住时，即完成此层薄膜的镀膜。

主权项

1.一种动态薄膜厚度监控系统，由一遮板、镀膜源及一膜厚监控装置所组成，其特征在于，所述遮板置于基板与镀膜源之间，膜厚监控装置置于适当位置；利用膜厚监控装置即时监控所镀薄膜的厚度，并依膜厚监控装置取得的膜厚监控值逐渐移动遮板，使遮板遮蔽基板上膜厚到达设计目标厚度的区域。