发明名称 |
真空器件的封接装置以及封接方法 |
摘要 |
一种真空器件的封接装置,其包括:一真空室;一前容置室与一后容置室分别通过第一闸门与第二闸门与该真空室两端相连通;一抽真空系统分别与该前容置室、后容置室以及真空室相连通;至少一运输装置,可于前容置室、真空室以及后容置室之间运动;其中,该真空器件的封接装置进一步包括:一装有多个密封件的外置容器设置于所述真空室上方,该外置容器通过一输入管道与真空室相连通,所述输入管道上设有控制部件;一第一加热装置设置于输入管道与第二闸门之间的真空室内壁上。 |
申请公布号 |
CN101587808A |
申请公布日期 |
2009.11.25 |
申请号 |
CN200810067428.2 |
申请日期 |
2008.05.23 |
申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
柳鹏;陈丕瑾;杜秉初;郭彩林;刘亮;范守善 |
分类号 |
H01J9/26(2006.01)I |
主分类号 |
H01J9/26(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种真空器件的封接装置,其包括:一真空室;一前容置室与一后容置室,且该前容置室与后容置室分别通过一第一闸门与一第二闸门与该真空室两端相连通;一抽真空系统分别与该前容置室、后容置室以及真空室相连通;至少一运输装置,可于前容置室、真空室以及后容置室之间运动;其特征在于,该真空器件的封接装置进一步包括:一装有多个密封件的外置容器设置于所述真空室上方,该外置容器通过一输入管道与真空室相连通,所述输入管道上设有控制部件;一第一加热装置设置于输入管道与第二闸门之间的真空室内壁上。 |
地址 |
100084北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |