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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH03163833(A)
申请公布日期
1991.07.15
申请号
JP19890304243
申请日期
1989.11.21
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
OBAYASHI YOSHIKAZU
分类号
H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
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