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发明名称 DEPOSITION METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 JPS5360564(A) 申请公布日期 1978.05.31
申请号 JP19760135350 申请日期 1976.11.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 INABA KEIZOU;TATEFURU NOBORU
分类号 C30B31/02;H01L21/223 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
主权项
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