发明名称 PIEZOELECTRIC ACTUATOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04155876(A) 申请公布日期 1992.05.28
申请号 JP19900279185 申请日期 1990.10.19
申请人 NEC CORP 发明人 TAKAHASHI SADAYUKI;MORIMOTO KOICHI;TAGAMI SATORU;INAGAWA MASAKO
分类号 H01L41/09;H01L23/00 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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