| 发明名称 |
COATING PROCESSES WITH A POLYCRYSTALLINE DIAMOND PASSIVATION LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
USH1249(H) |
申请公布日期 |
1993.11.02 |
| 申请号 |
US19910724248 |
申请日期 |
1991.07.01 |
| 申请人 |
MACHONKIN MARY A;JANSEN FRANK;HORO MICHAEL P O |
发明人 |
MACHONKIN MARY A;JANSEN FRANK;O'HORO MICHAEL P |
| 分类号 |
C23C16/27;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/463 |
主分类号 |
C23C16/27 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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