发明名称 Verfahren zum Trennen von Platten, die miteinander geklebt sind und eine gestapelte Struktur bilden
摘要
申请公布号 DE602004001948(T2) 申请公布日期 2007.08.30
申请号 DE200460001948T 申请日期 2004.09.23
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MORICEAU, HUBERT;FOURNEL, FRANCK;ASPAR, BERNARD
分类号 B26F3/00;H01L27/12;B26D7/14;B32B37/00;B32B43/00;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/44;H01L21/46;H01L21/762 主分类号 B26F3/00
代理机构 代理人
主权项
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