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发明名称 Verfahren zum selektiven AEtzen von Silicium-Nitrid-UEberzuegen
摘要
申请公布号 DE1621457(A1) 申请公布日期 1971.05.19
申请号 DE19671621457 申请日期 1967.10.31
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 MATSUMOTO,YOSHIHIRO
分类号 H01L21/00;H01L21/033;H01L21/311 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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