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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Brennweitenbestimmung Iangbrennweitiger elektronenoptischer Linsen
摘要
申请公布号 DE2827085(B1) 申请公布日期 1979.11.08
申请号 DE19782827085 申请日期 1978.06.16
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN 发明人 ANGER, KLAUS, DIPL.-ING.;FROSIEN, JUERGEN, DIPL.-ING.;LISCHKE, BURKHARD, DR.
分类号 H01J37/141;G01B15/00;G01Q20/02;H01J37/21;H01J37/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/10;G01M11/00 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
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