| 摘要 |
실시예들은 2가지 모드, 증착 모드와 세정 모드에서 작동하는 증착 장치에 관한 것이다. 증착 모드에서, 모듈식의 인젝터들은 층을 형성하기 위하여 기판 상에 물질들을 주입한다. 세정 모드에서, 증착 장치는 세정 가스를 주입함으로써 분해가 없이 세정된다. 인젝터 모듈 조립체는 반응 전구체를 제거하기 위하여 배기부를 통하여 세정 가스를 주입하고, 소스 전구체를 제거하기 위해 상기 배기부에서 또 다른 배기부로 상기 세정 가스를 보냄으로써 세정 모드에서 세정될 수 있다. 대안적으로, 상기 인젝터 모듈 조립체는 소스 전구체를 주입하기 위한 인젝터와 반응 전구체를 주입하기 위한 또 다른 인젝터 사이에 통로로 세정 가스를 주입하고 상기 세정 모드에서 상기 배기부들 중 하나에 세정 가스를 보냄으로써 세정된다. |
