| 发明名称 |
A method of manufacturing a polycrystalline semiconductor film |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2244284(B) |
申请公布日期 |
1993.11.03 |
| 申请号 |
GB19910009508 |
申请日期 |
1991.05.02 |
| 申请人 |
* NIPPON SHEET GLASS CO LTD |
发明人 |
KEIJI * OYOSHI;SHUHEI * TANAKA;TOMONORI * YAMAOKA |
| 分类号 |
H01L21/20;(IPC1-7):C23C16/56;C23C14/48;C23C14/58;H01L21/266 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
