发明名称 通用流体流动接头
摘要 通用流体流动接头100可由一单一结构所形成,其具有多个垂直导管以容纳气体流,多个垂直导管从顶面穿过此单一结构至底面,多个水平导管以容纳气体流,多个水平导管可在单一结构内部穿过第一侧边、第二侧边、第一端、及第二端,其中一个或多个垂直导管与至少一水平导管在此单一结构内部会合,且其中一个或多个水平导管在此单一结构内部会合以形成至少一形导管。
申请公布号 TW200925479 申请公布日期 2009.06.16
申请号 TW097138872 申请日期 2008.10.09
申请人 兰姆研究公司 发明人 塔斯卡 马克
分类号 F16L39/00(2006.01);H01L21/3065(2006.01) 主分类号 F16L39/00(2006.01)
代理机构 代理人 许峻荣
主权项
地址 美国