| 摘要 |
도포 장치, 노광 장치, 현상 장치 등을 큰 옐로 룸 내에 함께 배치하는 것은, 레시피 변경에 따른 레이아웃의 변경을 곤란하게 하고, 배치 면적 등의 효율화가 곤란하다. 규격화된 동일한 외형을 가지고, 작업대상물 위에 형성된 감광 재료로의 감광선을 차광하는 옐로 룸을 내포하는 복수의 운반 가능한 단위 처리 장치(50); 단위 처리 장치 사이에서 상기 작업대상물을 반송하기 위한, 그 자체가 옐로 룸으로서 형성된 반송 용기(11, 12); 및 단위 처리 장치(50)의 전실(80)의 상부에 설치된 도킹 포트(56)에 형성된 단위 처리 장치와 반송 장치를 연결하는 차광성의 연결 구조를 가지는 옐로 룸 시스템으로 하였다. |
