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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3032621(A1) 申请公布日期 1981.03.19
申请号 DE19803032621 申请日期 1980.08.29
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 MURAMATSU,AKIRA
分类号 H01L21/31;H01L21/76;H01L21/763;H01L21/765;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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