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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0413849(B2) 申请公布日期 1992.03.11
申请号 JP19870035674 申请日期 1987.02.20
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 NAMITA HIROMITSU
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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