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发明名称 THIN-FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10341023(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19980061274 申请日期 1998.03.12
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 HAE-CHAN YAN
分类号 H01L21/335;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
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