MICRO-INDUCTANCE OR MICRO-TRANSFORMER MICRO-COMPONENTS, AND MANUFACTURING PROCESS FOR SUCH MICRO-COMPONENTS

摘要

Procédé de fabrication d'un micro-composant électrique tel que microinductance ou micro-transformateur, incluant au moins un bobinage, et comprenant une couche de substrat, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes consistant - à graver sur le substrat une pluralité de canaux disposés de façon ordonnée selon une bande (3), et orientés sensiblement perpendiculairement à ladite bande (3) ; - à déposer par électrolyse, du cuivre dans lesdits canaux de façon à former une pluralité de segments (7) ; - à planariser la face supérieure du substrat et de la pluralité de segments (7) ; - à déposer au-dessus dudit substrat (1) et desdits segments (7), au moins une couche destinée à former un noyau; - à graver le noyau pour ne le conserver qu'au-dessus de ladite bande; - à déposer par électrolyse au-dessus du noyau (15), une pluralité d'arches (18), chaque arche reliant une extrémité d'un segment (7) avec une extrémité d'un segment adjacent, en passant au-dessus dudit noyau.