摘要 |
本发明系关于一种液晶显示装置驱动积体电路的制造方法,系包含:于基板之高压区的上方形成重搀杂P型阱及重搀杂N型阱;于此重搀杂P型阱及重搀杂N型阱之上方形成氧化层;于包含有氧化层之重搀杂P型阱的上方形成第一闸极,同时于包含有此氧化层之重搀杂N型阱的上方形成第二闸极;对此氧化层进行型样加工,藉以于第一闸极与第二闸极之下方形成闸极绝缘层,并形成与此闸极绝缘层之两侧相连的氧化层部分;于包含有第一闸极、第二闸极及氧化层部分之基板的整体表面之上方形成绝缘层;于第一闸极与第二闸极之侧壁上形成多个间隔件,并在形成这些间隔件之后移除此氧化层部分;以及于重搀杂P型阱与重搀杂N型阱之上方形成离子植入区。 |