| 发明名称 |
INSPECTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR CHIP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07128395(A) |
申请公布日期 |
1995.05.19 |
| 申请号 |
JP19920303091 |
申请日期 |
1992.10.15 |
| 申请人 |
NIPPON INTER ELECTRONICS CORP |
发明人 |
SUZUKI AKIO;OYAMADA HIROMI;TOYODA TAKAKO;KOMIYA AKIRA |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/336;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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