| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM OF ALUMINUM NITRIDE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07316809(A) |
申请公布日期 |
1995.12.05 |
| 申请号 |
JP19940115483 |
申请日期 |
1994.05.27 |
| 申请人 |
FINE CERAMICS CENTER |
发明人 |
SHIBATA NORIYOSHI;TANI YUKARI;NOMURA KENJI |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
