基于电容测量原理的平面电容传感器

摘要

本发明公开了一种基于电容测量原理的平面电容传感器。包括平面电容上极板与平面电容下极板；固定平面电容上极板和下极板其中的一个，移动另一个，根据上极板与下极板相对运动产生的电容量变化计算两者的相对位移。采用一个器件能同时实现X向与Y向的位移测量；从结构上对X向与Y向位移测量进行解耦，在测量方向上的电容量变化反映了位置的变化，而在非测量方向上的电容总量保持不变，不会对测量方向上的电容量变化产生影响，减少了数据处理的时间。

主权项

1.基于电容测量原理的平面电容传感器，其特征在于：它包括平面电容上极板(1)与平面电容下极板(2)，平面电容下极板(2)设有边长为a的正方形电容极板(3)，且两两相邻的正方形电容极板(3)间距为正方形边长，平面电容上极板(1)设有与下极板的电容极板形状相同的四块X向电容极板(4、4’与5、5’)，以及四块Y向电容极板(6、6’与7、7’)，X向电容极板包括一组第一、第二测量极板(4、4’)和另一组第三、第四测量极板(5、5’)，且两组间在X向上相位差为90度，间距为1.5a，每组电容极板间的边线对齐，在Y方向上的间距为2a，一组与另一组边线对齐；Y向电容极板包括一组第五、第六测量极板(6、6’)和另一组第七、第八测量极板(7、7’)，且两组间在Y向上相位差为90度，间距为1.5a，每组电容极板间的边线对齐，在X方向上的间距为2a，一组与另一组边线对齐。