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发明名称 METHOD OF FABRICATING A CONTACT DEVICE
摘要
申请公布号 EP0424105(A3) 申请公布日期 1992.02.26
申请号 EP19900311340 申请日期 1990.10.17
申请人 TEKTRONIX, INC. 发明人 LEHMAN-LAMER, GAIL R.
分类号 G01R31/26;B44C1/22;C03C15/00;C23F1/00;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00;H01L21/48;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/48 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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