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申请公布号 JP2903168(B2) 申请公布日期 1999.06.07
申请号 JP19900080515 申请日期 1990.03.28
申请人 KONIKA KK;MITSUBISHI KAGAKU KK 发明人 KONUMA TOMOHITO;SASA NOBUMASA;SHIMIZU KUNIO;URANO TOSHOSHI;MASUDA TETSUYA
分类号 G03F7/004;G03C1/54;G03C1/695;G03C1/74;G03F3/10;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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