| 摘要 |
[과제] 배기공의 위치에 관계없이 공기를 부드럽게 흘려보내서 반발력의 편향을 해소한 흡인 척을 제공한다. [해결 수단] 흡인 척(10)은 평판 형상의 본체(11)와, 대향면(31)과, 복수의 공기 분출구(41)와, 복수의 배기공(42)을 구비한다. 본체(11)의 내부에는 압축 공기의 유로가 형성된다. 대향면(31)은 본체(11)의 공작물에 대향하는 측의 면이다. 공기 분출구(41)는 유로로부터 공급되는 압축 공기를 분출하기 위해 대향 면(31)에 개구된다. 배기공(42)은 공기 분출구(41)의 주위에 있어서 대향면(31)에 개구됨과 아울러 본체(11)를 두께방향으로 관통하도록 형성된다. 각 공기 분출구(41)는 원기둥 형상의 공간으로서 형성됨과 아울러 상기 공간의 내부를 향해서 개구되는 노즐 유로(44)를 3개 구비하고, 각 노즐 유로(44)는 상기 원기둥 형상의 공간의 내벽을 따르는 방향으로 압축 기체를 분출한다. |
