| 发明名称 |
THICK FILM MONITORING DEVICE FOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60132327(A) |
申请公布日期 |
1985.07.15 |
| 申请号 |
JP19840245855 |
申请日期 |
1984.11.20 |
| 申请人 |
IND DES TELECOMMUN CIT ALCATEL:CIE |
发明人 |
JIYAN KANTORUU |
| 分类号 |
H01L21/205;G01B11/06;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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